[发明专利]一种高熵超晶格氮化物涂层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202210725009.3 申请日: 2022-06-23
公开(公告)号: CN115233171B 公开(公告)日: 2023-06-20
发明(设计)人: 杜昊;戴厚富;张泽;李潇阳;刘浩;康建军 申请(专利权)人: 贵州大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C22C30/00;C23C14/06
代理公司: 贵阳中新专利商标事务所 52100 代理人: 胡绪东
地址: 550025 贵州省贵*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 发明公开了一种高熵超晶格氮化物涂层及其制备方法,属于涂层技术领域,该涂层包括周期性交替布置的AlCrTiNbN层和VN层。该涂层的制备方法为:在Ar和N2气氛中,使用高功率脉冲磁控溅射的方法溅射Al25Cr25Ti25Nb25合金靶和V单质靶,Al25Cr25Ti25Nb25合金靶和V单质靶,交替工作。本发明涂层在进一步提升涂层硬度的同时,通过超晶格界面之间的共格应变,增加涂层的断裂韧性和降低涂层残余压应力,另外,AlCrTiNbN层的金属原子比例符合高熵氮化物对金属空位元素的原子比例要求,既符合高熵氮化物的强化标准,也符合超晶格涂层对涂层断裂韧性提高的标准。本发明涂层的制备方法对设备的适用性强,可通过控制溅射脉冲的数量实现膜层纳米级别的调控和各膜层之间厚度比例的精确控制。
搜索关键词: 一种 高熵超 晶格 氮化物 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
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