[发明专利]一种高质量氮化硅粉体合成方法在审
| 申请号： | 202210709229.7 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115072677A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 王克峰;杨平;赵文丰 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于氮化硅粉体合成技术领域，涉及一种高质量氮化硅粉体合成方法。以四氯化硅为原料，与液氨反应合成硅胺前体，将处理好的硅胺前体与硅粉混合后装入高温回转炉A。保持高温回转炉A在一定转速范围，向高温回转炉充入氮气，通过排气阀及抽真空设备将高温回转炉控制压力。反应完成后，维持回转炉旋转A及氮气保护，常温后从回转炉下出口取出得到的氮化硅粉体。与现有技术相比，本发明合成的氮化硅材料质量稳定。高温回转炉不采用传统的静态烧成方式,使硅粉与氮化气氛在旋转过程中充分接触，有效缩短硅粉氮化周期，提高生产效率。本发明可与多晶硅工艺进行联合生产，实现硅资源的合理综合利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 氮化 硅粉体 合成 方法 | ||
【主权项】：
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