[发明专利]一种氯基碳化硅制程的尾气处理与能量回收设备在审
| 申请号： | 202210709214.0 | 申请日： | 2022-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN115069055A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋彪;朱佰喜;薛抗美 | 申请（专利权）人： | 深圳市志橙半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/60 | 分类号： | B01D50/60;B01D45/16;B01D53/00;B01D53/047;B01D53/68;B01D53/78;B01D53/81;H01M8/04082 |
| 代理公司： | 深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙) 44850 | 代理人： | 刘临利 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及尾气处理与能量回收的技术领域，公开了一种氯基碳化硅制程的尾气处理与能量回收设备，包括：依次连接设置的固体颗粒处理装置、尾气分流处理装置、氢气提纯装置、氢气再利用装置；本发明令尾气依次通过固体颗粒处理装置、尾气分流处理装置、氢气提纯装置，获取高纯度的氢气，并将尾气中的固体颗粒、酸性物质分别进行分离与处理，再通过氢气再利用装置将氢气的化学能转化为电能，为反应炉提供电能，实现了对尾气的更高效率的利用，解决了尾气直接排放至大气中导致原料浪费的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 尾气 处理 能量 回收 设备 | ||
【主权项】：
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