[发明专利]一种基于自离子辐照后锆合金透射电镜试样制备方法在审

专利信息
申请号: 202210680014.7 申请日: 2022-06-16
公开(公告)号: CN115078431A 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 张伟;伍晓勇;吴璐;宁知恩;何文;毛建军;莫华均;张海生;雷阳;滕常青;王桢;方忠强;吴拥军;杨帆;周云 申请(专利权)人: 中国核动力研究设计院
主分类号: G01N23/2202 分类号: G01N23/2202;G01N1/44;G01N1/28
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 王鹏程
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种基于自离子辐照后锆合金透射电镜试样制备方法,包括:制备锆合金金属片,对锆合金金属片的第一侧面进行预减薄,并在第一侧面形成凹坑;对锆合金金属片进行重离子辐照,对锆合金金属片的第一侧面进行保护,并对锆合金金属片的第二侧面进行电解双喷减薄;对减薄后的锆合金金属片进行透射电镜分析,若满足要求则判断成功制备锆合金透射电镜试样;本发明通过对锆合金金属片进行辐照前的预减薄和辐照后的单面减薄,能够简单、高效的制备重离子辐照面透射电镜试样,该方法不仅能够获得大面积的辐照损伤薄区,还可以有效的观察大尺寸辐照损伤缺陷,在低能重离子辐照透射电镜制样及分析方面具有广泛的实用性。
搜索关键词: 一种 基于 离子 辐照 合金 透射 试样 制备 方法
【主权项】:
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