[发明专利]一种微波传输装置及微波等离子体设备有效
| 申请号： | 202210668837.8 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN114759333B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 陈森林;李俊宏;李东亚 | 申请（专利权）人： | 成都纽曼和瑞微波技术有限公司 |
| 主分类号： | H01P3/12 | 分类号： | H01P3/12;H01P1/30 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 孔鹏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微波传输装置及微波等离子体设备，属于微波传输领域。上述微波传输装置包括波导、冷却组件及销轴，波导为矩形管结构，波导上设置有波导通孔。冷却组件包括冷却腔体，冷却腔体一端与波导的管壁密封连接，并罩设在波导通孔上，另一端设置有盖板。销轴可滑动地设置在波导通孔中，并能够相对于波导通孔固定；销轴与波导通孔的内壁密封配合；销轴上设置有水流通道，水流通道包括进水口和出水口。进水口和出水口均位于冷却腔体的内腔中。上述设计使得冷却水在流动过程中，不仅能够将销轴表面的热量带走，还能够将销轴内部的热量带走，从而实现销轴整体的降温。由于有效降低了销轴的温度，因此，上述微波传输装置的传输稳定性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 传输 装置 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
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