[发明专利]一种微波传输装置及微波等离子体设备

权利要求书

1.一种微波传输装置，其特征在于，包括：

波导，所述波导为矩形管结构，所述波导上设置有波导通孔；

冷却组件，所述冷却组件包括冷却腔体，所述冷却腔体一端与所述波导的管壁密封连接，并罩设在所述波导通孔上，另一端设置有盖板；所述冷却腔体上设置有两个水管接口；

销轴，所述销轴可滑动地设置在所述波导通孔中，并能够相对于所述波导通孔固定；所述销轴与所述波导通孔的内壁密封配合；所述销轴上设置有水流通道，所述水流通道包括进水口和出水口；

所述进水口和所述出水口均位于所述冷却腔体的内腔中；

所述冷却组件还包括隔板，所述隔板设置在所述冷却腔体中，将所述冷却腔体的内腔隔开形成相互独立的进水腔和出水腔；所述两个水管接口分别设置在所述进水腔和所述出水腔的外壁上；

所述隔板上设置有隔板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述隔板通孔中；所述进水口位于所述进水腔内，所述出水口位于所述出水腔内；

升降组件，所述升降组件安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴沿所述波导通孔滑动。

2.根据权利要求1所述的微波传输装置，其特征在于：所述出水口设置有螺旋形导流管。

3.根据权利要求1或2所述的微波传输装置，其特征在于：

所述盖板上设置有盖板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述盖板通孔中；

所述升降组件包括提升部分及第一弹簧，所述提升部分安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝远离所述波导的方向运动；

所述第一弹簧一端与所述冷却腔体连接，另一端与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝靠近所述波导的方向运动。

4.根据权利要求3所述的微波传输装置，其特征在于：

其中一个所述水管接口处设置有阀门，所述阀门包括阀杆；所述微波传输装置还包括自动控制组件，所述自动控制组件包括连杆和移动杆；

所述移动杆一端与所述销轴固定连接，所述连杆一端与所述移动杆铰接，另一端与所述阀杆铰接；

所述销轴朝远离所述波导的方向移动时，能够通过所述自动控制组件带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变小；

所述销轴朝靠近所述波导的方向移动时，所述自动控制组件能够带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变大。

5.根据权利要求4所述的微波传输装置，其特征在于：

所述移动杆为可弯曲变形的柔性杆，所述阀杆的摆动角度为90°。

6.根据权利要求3所述的微波传输装置，其特征在于：

所述提升部分包括安装板、拉绳、转轴及锁定结构，所述安装板与所述冷却腔体固定连接，所述转轴与所述安装板可转动连接，所述拉绳的一端缠绕在所述转轴上，另一端与所述销轴连接；

所述锁定结构用于锁定所述转轴。

7.根据权利要求6所述的微波传输装置，其特征在于：

所述锁定结构包括锁钩及锁定盘，所述锁定盘套设并固定连接在所述转轴上；所述锁钩的一端与所述安装板连接，另一端用于与所述锁定盘可拆卸连接；

所述转轴上还套设有第二弹簧，所述第二弹簧一端与所述安装板抵接，另一端与所述转轴连接；所述第二弹簧用于使得所述锁定盘抵接于所述锁钩上。

8.根据权利要求7所述的微波传输装置，其特征在于：

所述锁定盘上设置有多个锥形孔，所述多个锥形孔均匀环绕在所述锁定盘的中心；所述锁钩的端部设置有锥形尖端，所述锥形尖端能够与对应的所述锥形孔配合。

9.根据权利要求1所述的微波传输装置，其特征在于：

所述销轴设置有限位件，所述限位件用于限制所述销轴的两个极限位置；

所述限位件与所述波导抵接时，所述销轴伸入到所述波导内的长度为所述波导内腔高度的1/2；

所述限位件与所述冷却腔体抵接时，所述销轴伸入到所述波导内的长度为0。

10.一种微波等离子体设备，其特征在于，包括微波源及权利要求1-9任一项所述的微波传输装置，所述微波源与所述波导连接。