[发明专利]一种微波传输装置及微波等离子体设备

说明书

本发明提供了一种微波传输装置及微波等离子体设备，属于微波传输领域。上述微波传输装置包括波导、冷却组件及销轴，波导为矩形管结构，波导上设置有波导通孔。冷却组件包括冷却腔体，冷却腔体一端与波导的管壁密封连接，并罩设在波导通孔上，另一端设置有盖板。销轴可滑动地设置在波导通孔中，并能够相对于波导通孔固定；销轴与波导通孔的内壁密封配合；销轴上设置有水流通道，水流通道包括进水口和出水口。进水口和出水口均位于冷却腔体的内腔中。上述设计使得冷却水在流动过程中，不仅能够将销轴表面的热量带走，还能够将销轴内部的热量带走，从而实现销轴整体的降温。由于有效降低了销轴的温度，因此，上述微波传输装置的传输稳定性更高。

技术领域

本发明涉及微波传输领域，具体而言，涉及一种微波传输装置及微波等离子体设备。

背景技术

微波等离子体设备包括微波源、微波传输装置及反应腔，微波源通过微波传输装置与反应腔连接，并将微波传输到反应腔中。而微波传输装置的核心部件就是波导，而为了调节波导阻抗，一般会在波导的管壁上设置通孔，将销轴插接在上述通孔中。通过调节销轴在波导中的深度，能够调节波导阻抗。而由于销轴本身的发热量比较大，当其温度过高时，会影响波导传输的稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微波传输装置，其能够有效缓解上述问题。

本发明的另一目的在于提供一种微波等离子体设备，其采用了上述微波传输装置。

本发明是这样实现的：

一种微波传输装置，包括：

波导，所述波导为矩形管结构，所述波导上设置有波导通孔；

冷却组件，所述冷却组件包括冷却腔体，所述冷却腔体一端与所述波导的管壁密封连接，并罩设在所述波导通孔上，另一端设置有盖板；所述冷却腔体上设置有两个水管接口；

销轴，所述销轴可滑动地设置在所述波导通孔中，并能够相对于所述波导通孔固定；所述销轴与所述波导通孔的内壁密封配合；所述销轴上设置有水流通道，所述水流通道包括进水口和出水口；

所述进水口和所述出水口均位于所述冷却腔体的内腔中。

进一步地，所述冷却组件还包括隔板，所述隔板设置在所述冷却腔体中，将所述冷却腔体的内腔隔开形成相互独立的进水腔和出水腔；所述两个水管接口分别设置在所述进水腔和所述出水腔的外壁上；

所述隔板上设置有隔板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述隔板通孔中；所述进水口位于所述进水腔内，所述出水口位于所述出水腔内；

所述出水口设置有螺旋形导流管。

进一步地，所述盖板上设置有盖板通孔，所述销轴可滑动地设置在所述盖板通孔中；

所述微波传输装置包括升降组件，所述升降组件包括提升部分及第一弹簧，所述提升部分安装在所述冷却腔体上，并与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝远离所述波导的方向运动；

所述第一弹簧一端与所述冷却腔体连接，另一端与所述销轴连接，用于使得所述销轴朝靠近所述波导的方向运动。

进一步地，其中一个所述水管接口处设置有阀门，所述阀门包括阀杆；所述微波传输装置还包括自动控制组件，所述自动控制组件包括连杆和移动杆；

所述移动杆一端与所述销轴固定连接，所述连杆一端与所述移动杆铰接，另一端与所述阀杆铰接；

所述销轴朝远离所述波导的方向移动时，能够通过所述自动控制组件带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变小；

所述销轴朝靠近所述波导的方向移动时，所述自动控制组件能够带动所述阀杆转动，使得所述阀门开度变大。

进一步地，所述移动杆为可弯曲变形的柔性杆，所述阀杆的摆动角度为90°。