[发明专利]软磁薄膜铁芯及其制备方法、传感器有效
| 申请号： | 202210653407.9 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN114999762B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 吕辉 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | H01F3/00 | 分类号： | H01F3/00;H01F1/147;H01F1/18;H01F10/12;H01F10/28;H01F41/18 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 刘璐璐 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开一种软磁薄膜铁芯，包括绝缘衬底和软磁体，通过在软磁体内设置多层上下层叠分布的镂空网格，并在镂空网格的所有格腔中填充绝缘体，从而达到改变薄膜铁芯微观形态的效果，使薄膜铁芯整体呈现空间网格结构，有利于限制磁畴尺寸，促进铁芯的均匀饱和，从而有效降低薄膜铁芯的饱和磁感应强度和矫顽力，提高其软磁性能。本发明提出的软磁薄膜铁芯，其加工工艺过程可采用MEMS工艺进行。本发明提出的软磁薄膜铁芯的制备方法，采用如紫外光刻、电镀、湿法刻蚀等低成本标准MEMS工艺，可实现铁芯的标准化大批量生产，降低加工成本。本发明提出一种传感器，以软磁薄膜铁芯为敏感元件，能有效降低功耗，对灵敏度和噪声也有一定改善。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 及其 制备 方法 传感器 | ||
【主权项】：
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