[发明专利]一种波导器件在审
| 申请号： | 202210642501.4 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115079341A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 颜博霞;白谋;亓岩;王延伟;韩哲;周密;范元媛;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/125 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 谷波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种波导器件，包括：衬底；位于所述衬底上的波导层；至少部分覆盖所述波导层的包覆层；其中，所述波导层中至少有一段波导为以下波导中的一种：基于Hermite曲线的弯曲波导、基于B样条曲线的弯曲波导和基于Hermite曲线的锥形波导。本公开提供的波导器件，不仅能保持良好的单模传输特性、超低传输损耗和超低的高阶模式激发比等优势，并且结构尺寸小，可以大大提高光电器件的集成度，从而进一步降低成本，适用于大规模量产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 器件 | ||
【主权项】：
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