[发明专利]一种波导器件

权利要求书

1.一种波导器件，其特征在于，包括：

衬底；

位于所述衬底上的波导层；

至少部分覆盖所述波导层的包覆层；

其中，所述波导层中至少有一段波导为以下波导中的一种：

基于Hermite曲线的弯曲波导、基于B样条曲线的弯曲波导和基于Hermite曲线的锥形波导。

2.根据权利要求1所述的波导器件，其特征在于，所述基于Hermite曲线的弯曲波导包括两条曲线，分别为第一内轮廓曲线和第一外轮廓曲线，所述第一外轮廓曲线是基于三次Hermite曲线公式得到的；所述三次Hermite曲线的参数表达式为：

P(t)＝(2t³-3t²+1)P₀+(t³-2t²+t)M₀+(t³-2t²)M₁+(-2t³+3t²)P₁；

其中，所述P₀是曲线起始点，P₁是曲线终结点，M₀是起始点处的切线方向，M₁是终结点处的切线方向；参数t从0变化到1的过程中P(t)形成的轨迹构成了从P₀到P₁的平滑曲线。

3.根据权利要求2所述的波导器件，其特征在于，所述第一内轮廓曲线是由一系列与所述第一外轮廓曲线一一对应的点组成的，所述第一内轮廓曲线上的点到所述第一外轮廓曲线上对应点的距离相等。

4.根据权利要求3所述的波导器件，其特征在于，所述基于Hermite曲线的弯曲波导宽度为1.6μm，有效半径为20μm。

5.根据权利要求3所述的波导器件，其特征在于，所述基于Hermite曲线的弯曲波导的弯曲程度为90°。

6.根据权利要求1所述的波导器件，其特征在于，所述基于B样条曲线的弯曲波导包括两条曲线，分别为第二内轮廓曲线和第二外轮廓曲线，所述第二外轮廓曲线是基于二次B样条曲线和三次B样条曲线拼接而得到；

所述二次B样条曲线矩阵形式如下：

所述三次B样条曲线矩阵形式如下：

其中，t、P₁至P₄为B样条曲线的控制参数。

7.根据权利要求6所述的波导器件，其特征在于，所述第二内轮廓曲线是由一系列与所述第二外轮廓曲线一一对应的点组成的，所述第二内轮廓曲线上的点到所述第二外轮廓曲线上对应点的距离相等。

8.根据权利要求7所述的波导器件，其特征在于，所述基B样条曲线的弯曲波导宽度为1.6μm，有效半径为16μm。

9.根据权利要求7所述的波导器件，其特征在于，所述基于基B样条曲线的弯曲波导的弯曲程度为90°。

10.根据权利要求1所述的波导器件，其特征在于，所述基于Hermite曲线的锥形波导包括两条曲线，分别为上轮廓曲线和下轮廓曲线，所述上轮廓曲线与所述下轮廓曲线是关于水平轴对称的。

11.根据权利要求10所述的波导器件，其特征在于，所述基于Hermite曲线的锥形波导的宽度由0.45μm渐变到1.6μm。

12.根据权利要求1所述的波导器件，其特征在于，所述波导层的高度为0.22μm。