[发明专利]Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计在审
| 申请号： | 202210620692.4 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN114994362A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 尚克军;杨亚杰;刘飞;张菁华;盛洁;姚远;李陈征;王登顺;王汝弢;王永胜 | 申请（专利权）人： | 北京自动化控制设备研究所 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125;G01P21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100074 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 敏感 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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