[发明专利]Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计

权利要求书

1.一种Z轴加速度计敏感结构，其特征在于，所述Z轴加速度计敏感结构包括衬底(100)和至少一个加速度计敏感结构组，所述加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构(200)，任一所述加速度计敏感子结构(200)均包括敏感质量块组(201)、第一偏置质量块(202)、第二偏置质量块(203)、第一弹簧支撑梁(204)、第二弹簧支撑梁(205)、第一锚点单元(206)、第二锚点单元(207)、第一极板(208)和第二极板(209)，所述第一锚点单元(206)、所述第二锚点单元(207)、所述第一极板(208)和所述第二极板(209)均设置在所述衬底(100)上，所述敏感质量块组(201)包括相连接的第一敏感质量块(2011)和第二敏感质量块(2012)，所述第一弹簧支撑梁(204)分别与所述敏感质量块组(201)的一侧以及所述第一锚点单元(206)连接，所述第二弹簧支撑梁(205)分别与所述敏感质量块组(201)的另一侧以及所述第二锚点单元(207)连接，所述第一弹簧支撑梁(204)与所述第二弹簧支撑梁(205)同轴设置，所述第一敏感质量块(2011)和所述第二敏感质量块(2012)相对于所述第一弹簧支撑梁(204)以及所述第二弹簧支撑梁(205)对称设置，所述第一偏置质量块(202)与所述第二敏感质量块(2012)的一侧连接，所述第二偏置质量块(203)与所述第二敏感质量块(2012)的另一侧连接，所述第一极板(208)与所述第一敏感质量块(2011)相对设置，所述第二极板(209)与所述第二敏感质量块(2012)相对设置；第一加速度计敏感子结构(200)的第一敏感质量块(2011)与第二加速度计敏感子结构(200)的第一敏感质量块(2011)相连接以实现两个所述加速度计敏感子结构(200)的连接或第一加速度计敏感子结构(200)的第二敏感质量块(2012)与第二加速度计敏感子结构(200)的第二敏感质量块(2012)相连接以实现两个所述加速度计敏感子结构(200)的连接。

2.根据权利要求1所述的Z轴加速度计敏感结构，其特征在于，任一所述加速度计敏感子结构(200)均还包括第一应力释放单元(210)和第二应力释放单元(211)，所述第一弹簧支撑梁(204)通过所述第一应力释放单元(210)与所述第一锚点单元(206)连接，所述第二弹簧支撑梁(205)通过所述第二应力释放单元(211)与所述第二锚点单元(207)连接，所述第一应力释放单元(210)和所述第二应力释放单元(211)用于释放所述Z轴加速度计敏感结构的结构内应力。

3.根据权利要求2所述的Z轴加速度计敏感结构，其特征在于，所述第一应力释放单元(210)包括第一应力释放梁组(2101)和第一应力释放框架(2102)，所述第一应力释放梁组(2101)通过所述第一应力释放框架(2102)与所述第一锚点单元(206)连接，所述第一弹簧支撑梁(204)与所述第一应力释放梁组(2101)连接；所述第二应力释放单元(211)包括第二应力释放梁组(2111)和第二应力释放框架(2112)，所述第二应力释放梁组(2111)通过所述第二应力释放框架(2112)与所述第二锚点单元(207)连接，所述第二弹簧支撑梁(205)与所述第二应力释放梁组(2111)连接。

4.根据权利要求3所述的Z轴加速度计敏感结构，其特征在于，所述第一应力释放梁组(2101)和所述第二应力释放梁组(2111)均包括多个平行设置的应力释放梁，所述第一锚点单元(206)包括第一锚点(2061)和第二锚点(2062)，所述第一应力释放框架(2102)包括第一连接架(2102a)和第二连接架(2102b)，所述第一连接架(2102a)分别与所述第一锚点(2061)和所述第一应力释放梁组(2101)的一端连接，所述第二连接架(2102b)分别与所述第二锚点(2062)和所述第一应力释放梁组(2101)的另一端连接；所述第二锚点单元(207)包括第三锚点(2071)和第四锚点(2072)，所述第二应力释放框架(2112)包括第三连接架(2112a)和第四连接架(2112b)，所述第三连接架(2112a)分别与所述第三锚点(2071)和所述第二应力释放梁组(2111)的一端连接，所述第四连接架(2112b)分别与所述第四锚点(2072)和所述第二应力释放梁组(2111)的另一端连接。