[发明专利]一种可同步测量气流压力与气流温度的柔性传感器及其组装方法和应用在审
| 申请号： | 202210617723.0 | 申请日： | 2022-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN115096499A | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 胡军;叶琳琪;李鑫磊;陈敏瑞 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06;G01L19/00;G01K7/02;G01K1/14 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 龚如朝 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可同步测量气流压力与气流温度的柔性传感器及其组装方法和应用，所述传感器主要包括支撑平台、倾斜悬臂梁、导电纳米粒子点阵、导电微电极和电导测量外电路；倾斜悬臂梁倾斜固定于支撑平台上，在倾斜悬臂梁正反表面相对应位置分布至少一组导电纳米粒子阵列；各组内的导电纳米粒子阵列两侧分布有导电微电极；电导测量外电路与导电微电极电连接。本发明对于气流压力与温度敏感的元件为导电纳米粒子阵列，其量子电导随粒子间距与温度呈指数关联，故对气流压力和引起的形变及温度变化会有极其灵敏的响应；这一结构可同步测量气流的压力与温度、无需集成额外传感器校准，精简了传感结构，纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同步 测量 气流 压力 温度 柔性 传感器 及其 组装 方法 应用 | ||
【主权项】：
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