[发明专利]尾气处理装置有效
| 申请号： | 202210610918.2 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114904355B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 陈建升;谢远祥;闫士泉;杨帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/26;B01D46/00;B01D5/00;F23G7/06;F28B9/08 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种尾气处理装置，用于处理半导体工艺设备排出的氢气尾气。该尾气处理装置包括依次设置的进气腔、燃烧腔和冷凝腔，进气腔与燃烧相互隔绝，燃烧腔与冷凝腔相互连通，冷凝腔用于与厂务管道连通；其中，进气腔中设置有互不连通的氢气管路和氧气管路；氢气管路的进气口与半导体工艺设备的排气口连通，氧气管路的进气口与氧气源连通；氢气管路和氧气管路的出气口均与燃烧腔连通；燃烧腔用于供氢气和氧气燃烧；冷凝腔中设置有冷凝装置；冷凝装置用于冷凝燃烧产生的水蒸气，并收集冷凝水。本发明实施例提供的尾气处理装置，其能够避免氢气因燃烧不充分而产生爆鸣，并且能够避免冷凝水回流而影响燃烧反应的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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