[发明专利]衬底干燥装置在审
| 申请号： | 202210609340.9 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115540521A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 朴庸硕;朴康淳;李材石;权烔吾 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B21/00;F26B23/06;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 江亚男;方挺 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底干燥装置，其不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，还可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，可以提高装置的小型化和耐久性。为此，本发明公开了以下特征，包括：内部壳体，其包括主体壳体和排气壳体，主体壳体在下部形成用于衬底干燥的气体流入的流入孔，在内部形成收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，排气壳体沿与衬底的传送方向交叉的方向结合到主体壳体的两端部，在内部形成与收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于主体壳体和衬底之间的干燥空间，辐射用于衬底干燥的热量；外部壳体，下部开放以覆盖主体壳体和灯，在与主体壳体之间形成引导气体流动的供气流路。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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