[发明专利]晶圆存储智能仓及其存取料方法在审
| 申请号： | 202210607975.5 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114906529A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 曾琦 | 申请（专利权）人： | 厦门宏泰智能制造有限公司 |
| 主分类号： | B65G1/04 | 分类号： | B65G1/04;B65G1/137;G01N33/00;G06V30/10 |
| 代理公司： | 厦门天诚欣创知识产权代理事务所(普通合伙) 35266 | 代理人： | 张浠娟 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市思*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了晶圆存储智能仓及其存取料方法，它涉及储料技术领域，包括多个用于放置晶圆的晶舟盒、检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机用于打印标签。采用上述技术方案后，本发明能够节约人工、提高效率、降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 智能 及其 存取 方法 | ||
【主权项】：
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