[发明专利]晶圆存储智能仓及其存取料方法

说明书

本发明公开了晶圆存储智能仓及其存取料方法，它涉及储料技术领域，包括多个用于放置晶圆的晶舟盒、检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；所述环形轨道传输机构设置在工作台上，所述晶舟盒在环形轨道传输机构上移动；所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；所述标签打印机用于打印标签。采用上述技术方案后，本发明能够节约人工、提高效率、降低成本。

技术领域

本发明涉及储料技术领域，具体涉及晶圆存储智能仓及其存取料方法。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之半导体产品。

晶圆在未加工或加工完成后，在其上一般都会有镭雕信息，以便对晶圆进行区分，在晶圆入库时，需要对每个晶圆进行字符识别，将每个晶圆信息记录到调度系统中，然后再对其入库，需要使用晶圆时，再根据对应的订单信息取出对应的晶圆，传统的晶圆入库一般采用人工对其进行字符识别，然后人工运输送入库中，这样长期劳作下，会降低运输及入库的效率，且由于疲劳可能会出现信息记录错误，同时人工成本较高。

另外，现有的自动化储料仓，入库或出库过程基本都是一个物料入库或出库完成后，再处理下一个物料，效率比较低。

有鉴于此，本发明针对上述过程中未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本发明。

发明内容

本发明的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种能够节约人工、提高效率、降低成本的晶圆存储智能仓及其存取料方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案是：

晶圆存储智能仓，其包括

多个用于放置晶圆的晶舟盒；所述晶舟盒是用于放置晶圆的载体，每个晶舟盒可放置多个晶圆，晶圆之间具有一定的间距，即方便晶圆的夹取，也可确保晶圆之间不会摩擦，保护晶圆面；所述晶舟盒的数量按需设置；

多个物料传送装置，所述物料传送装置包括存传送组件、存取物料抓取移动机构及窗口自动开闭机构，所述晶舟盒通过物料传送装置进行传送，所述窗口自动开闭机构用于开启或关闭智能仓，所述存取物料抓取移动机构设置在传送组件上；

检料仓，所述检料仓包括工作台、环形轨道传输机构、多个视觉检测机构、多个用于将晶圆在视觉检测机构与晶舟盒之间来回移动的晶圆机械手及标签打印机；

所述环形轨道传输机构与所述物料传送装置对接，所述晶舟盒在通过存取物料抓取移动机构在物料传送装置和环形轨道传输机构之间传送；

所述环形轨道传输机构包括环形轨道、多个物料平台，所述环形轨道设置在工作台上，所述多个物料平台设置在环形轨道上，物料平台用于放置晶舟盒；

所述视觉检测机构设置在工作台上，用于对晶圆上的镭雕信息进行字符识别；

所述标签打印机用于打印标签，标识取料晶舟盒中晶圆的信息；

多个出入仓机构，所述出入仓机构包括换向机构及出入仓物料抓取移动机构，

所述换向机构用于带动晶舟盒旋转；

所述出入仓物料抓取移动机构设置在工作台上，用于夹取晶舟盒在环形轨道传输机构与换向机构之间移动；

多个多层缓存巷道机，所述多层缓存巷道机与所述换向机构对接，所述多层缓存巷道机上设置有巷道、抓取机械手及缓存仓；

所述多层缓存巷道机在巷道上来回移动，