[发明专利]源瓶的温度控制系统及方法在审
| 申请号： | 202210607326.5 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114911282A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 张利军;张芳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 马瑞 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种源瓶的温度控制系统及方法，系统包括：源瓶本体；设置于源瓶本体内的液位计和压力计，液位计用于检测源瓶本体内所承载工艺源的液位值，压力计用于检测源瓶本体内的压力值；设置于源瓶本体的外瓶壁上的第一热电偶、设置于源瓶本体的气流出口处的第二热电偶和载气流量计、设置于源瓶本体内的第三热电偶；设置于源瓶本体的侧壁上的加热带，用于对所述源瓶本体进行加热；温度控制器，用于根据第一热电偶所测量到的第一温度值、第二热电偶所测量到的第二温度值、第三热电偶所测量到的第三温度值、液位计所检测到的液位值、压力计所检测到的压力值和载气流量计所检测到的载气流量值，控制加热带的输出功率。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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