[发明专利]源瓶的温度控制系统及方法

权利要求书

1.一种源瓶的温度控制系统，其特征在于，包括：

用于承载工艺源的源瓶本体；

设置于所述源瓶本体内的液位计和压力计，所述液位计用于检测所述源瓶本体内所承载工艺源的液位值，所述压力计用于检测所述源瓶本体内的压力值；

设置于所述源瓶本体的外瓶壁上的第一热电偶、设置于所述源瓶本体的气流出口处的第二热电偶和载气流量计、设置于所述源瓶本体内的第三热电偶；

设置于所述源瓶本体的侧壁上的加热带，用于对所述源瓶本体进行加热；

温度控制器，用于根据所述第一热电偶所测量到的第一温度值、所述第二热电偶所测量到的第二温度值、所述第三热电偶所测量到的第三温度值、所述液位计所检测到的所述液位值、所述压力计所检测到的所述压力值和所述载气流量计所检测到的载气流量值，控制所述加热带输出目标功率，以控制所述源瓶本体的温度达到预先设定的目标温度值。

2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述加热带包括主加热带和辅助加热带；其中，

所述温度控制器用于根据第一耦合温度值确定用于控制所述主加热带和辅助加热带输出功率的PID控制参数以及根据所述液位值、所述压力值和所述载气流量值调整所述PID控制参数，并根据调整后的所述PID控制参数控制所述主加热带输出第一功率；在检测到所述液位值大于预设高度值、所述载气流量值大于预设流量值或温度差值大于预设温度值时，控制开启所述辅助加热带并根据所述调整后的所述PID控制参数控制所述辅助加热带输出第二功率；

其中，所述温度差值为所述第一耦合温度值与所述目标温度值之间的差值，所述第一耦合温度值为对所述第一温度值、所述第二温度值和所述第三温度值进行耦合得到的温度值；

在所述辅助加热带不开启的情况下，所述第一功率用于控制所述第一耦合温度值达到所述目标温度值；在所述辅助加热带开启的情况下，所述第一功率和第二功率共同用于控制所述第一耦合温度值达到所述目标温度值。

3.根据权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制器还用于，在所述液位值小于所述预设高度值、所述载气流量值小于所述预设流量值以及所述温度差值小于所述预设温度值时，控制所述辅助加热带关闭。

4.一种源瓶的温度控制方法，其特征在于，应用于如权利要求1至3任一项所述的源瓶的温度控制系统，所述温度控制方法包括：

获取所述液位计所检测到的所述液位值、所述压力计所检测到的所述压力值、所述载气流量计所检测到的所述载气流量值、所述第一热电偶所测量到的所述第一温度值、所述第二热电偶所测量到的所述第二温度值和所述第三热电偶所测量到的所述第三温度值；

对所述第一温度值、所述第二温度值和所述第三温度值进行耦合得到第一耦合温度值；

根据所述第一耦合温度值与预先设置的目标温度值之间的温度差值以及所述液位值、所述压力值、所述载气流量值，控制所述加热带输出第一目标功率，以控制所述第一耦合温度值达到所述目标温度值。

5.根据权利要求4所述的温度控制方法，其特征在于，在所述源瓶本体未输入载气流量时，所述温度控制方法还包括：

对所述第一温度值和所述第二温度值进行耦合得到第二耦合温度值；

根据所述第二耦合温度值与所述目标温度值之间的温度差值，控制所述加热带输出第二目标功率，以使所述第二耦合温度值达到所述目标温度值。