[发明专利]一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法及系统有效
| 申请号： | 202210607065.7 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN114952597B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 邓耀敏 | 申请（专利权）人： | 杭州众硅电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B49/12;H01L21/66 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 邵志 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集方法，包括以下步骤：抛光台设置白光检测模块，用于收集白光经过晶圆的反射光谱信号，光谱信号随抛光过程膜厚减少而变化；沿抛光台的周向设置挡件；设置触发单元和采集单元，转动与挡件配合；抛光台带着白光检测模块旋转；触发单元逻辑状态变化，以触发白光检测模块的处理单元，向光谱仪下发等待采集指令；采集单元转动至挡件的起始端，触发光谱仪，开始采集数据；光谱仪停止采集数据；处理单元输出晶圆去除层的膜厚光谱特征。本发明还公开了一种用于化学机械平坦化白光终点检测的采集系统。本发明可实现高转速抛光过程中，在极短采集时间内，对大量白光光谱数据进行稳定且准确的实时提取。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械 平坦 白光 终点 检测 采集 方法 系统 | ||
【主权项】：
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