[发明专利]一种良率预警和诊断分析的方法、装置在审
| 申请号： | 202210594477.1 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114860547A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 龚雁鹏;赵文政;刘林平;谢箭 | 申请（专利权）人： | 上海喆塔信息科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/30 | 分类号： | G06F11/30;G06F11/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 安徽致至知识产权代理事务所(普通合伙) 34221 | 代理人： | 李作鹏 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国(上海)*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种良率预警和诊断分析的方法、装置，包括良率统计管控模块、报警分组模块、分析模块和结果前端展示输出模块，所述所述良率统计管控模块包括Daily Bin Ratio管控预警模组、管控预警Base Line配置模组和Daily良率统计模组。上述的半导体行业智能良率预警和诊断分析的方法，通过对数据库中的数据进行分析，统计分析不良的Wafer，对异常的Wafer进行预警通知，并自动对其进行分析，指出Wafer不良的主要根因，从而更快捷的找出问题，提高Wafer的良率，在整个过程中，由于全自动化，无需人员参与数据的输入和手动计算，大幅提高了分析速率，同时保证了统计分析的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 预警 诊断 分析 方法 装置 | ||
【主权项】：
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