[发明专利]一种HCVD用氯硅烷汽化器在审
| 申请号： | 202210572262.X | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114857981A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 朱建中;鞠德胜;万荣群 | 申请（专利权）人： | 无锡海飞凌半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | F28D21/00 | 分类号： | F28D21/00 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 曹祥波 |
| 地址： | 214200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种HCVD用氯硅烷汽化器，其包括：汽化罐，设置于所述汽化罐外部的加热马夹，设置于所述汽化罐内的石墨发热体以及设置所述汽化罐的顶部的雾化喷射器，其中，所述汽化罐的侧壁上还设有混合气出口和正极法兰组件和负极法兰组件，所述雾化喷射器用于将待汽化的气体喷射至所述石墨发热体，所述正极法兰组件和所述负极法兰组件均电连接于所述加热马夹和所述石墨发热体。其通过将发热体采用石墨材质，并通过结构创新设计，增大了发热面积，发热体表面温度恒定，使进入的气体混合汽化效果更好，经过该HCVD用氯硅烷汽化器处理的氯硅烷能以有效计量、恒温的气相状态送入HCVD，保证了化学气相沉积炉的气场均一平稳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hcvd 硅烷 汽化器 | ||
【主权项】：
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