[发明专利]OPC模型数据权重设置方法在审
| 申请号： | 202210572098.2 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114925635A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 汪牡丹;蔡伟;于世瑞 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/30 | 分类号： | G06F30/30;G03F1/36 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OPC模型数据权重设置方法，包括：步骤一、对版图上的图形进行分类并设置各类所述图形的参考权重；步骤二、设置OPC模型中各数据点的权重，包括：计算第一系数，第一系数为和数据点的图形线宽尺寸相关的系数；计算第二系数，第二系数为和数据点的图形的测量尺寸可靠度相关的系数；计算数据点的权重，数据点的权重为数据点的图形所属的图形类别的参考权重、第一系数和第二系数的乘积。本发明能有效地降低模型误差和均方根数值，提高OPC模型精度。 | ||
| 搜索关键词： | opc 模型 数据 权重 设置 方法 | ||
【主权项】：
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