[发明专利]样品的表征方法在审
| 申请号： | 202210571405.5 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN114923938A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 张云静;石泉;刘军;李国梁;魏强民 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 高柏通 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种样品的表征方法，包括：对样品进行电子能量损失谱分析，获得所述目标层的第一电子能量损失谱；根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度；对样品进行X方向切片，获得样品的真实厚度；根据样品目标层的相对厚度和真实厚度计算平均自由程。本申请样品的表征方法，通过样品目标层的第一电子能量损失谱的零损谱以及样品的真实厚度，获得样品目标层的平均自由程，然后根据平均自由程获得样品目标层的其他表征参数。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 表征 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司，未经长江存储科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210571405.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种永磁同步电机全工况区域标定的方法
- 下一篇：一种穿刺器械辅助组件
