[发明专利]样品的表征方法

权利要求书

1.一种样品的表征方法，所述样品包括目标层，所述样品表面为第一方向，其特征在于，所述样品的表征方法包括：

经由所述样品表面对所述样品进行电子能量损失谱分析，获得所述目标层的第一电子能量损失谱；

根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度；

对样品进行第二或第三方向切片，获得样品的真实厚度，所述第二方向、所述第三方向与所述第一方向两两垂直；

根据样品目标层的相对厚度和真实厚度计算平均自由程。

2.根据权利要求1所述的表征方法，其特征在于，所述第一电子能量损失谱的零损谱为：

P₀＝I_t/I₀，

其中，I₀是第一电子能量损失谱中零峰的强度，I_t是全谱的强度。

3.根据权利要求2所述的表征方法，其特征在于，根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度的步骤中，所述样品目标层的相对厚度为

t/λ＝ln(I_t/I₀)。

4.根据权利要求1所述的表征方法，其特征在于，根据样品目标层的相对厚度和真实厚度计算平均自由程的步骤中，所述样品目标层的平均自由程为：

λ_目标＝真实厚度/相对厚度。

5.根据权利要求1所述的表征方法，其特征在于，采用聚集离子束对样品进行对样品进行第二或第三方向切片。

6.根据权利要求1所述的表征方法，其特征在于，所述样品还包括至少一个非目标层，所述目标层与所述非目标层的材质不同。

7.根据权利要求6所述的表征方法，其特征在于，对样品进行电子能量损失谱分析的步骤中，还包括：获得所述非目标层的第二电子能量损失谱。

8.根据权利要求7所述的表征方法，其特征在于，根据第一电子能量损失谱的零损谱获得所述样品目标层的相对厚度与对样品进行第二或第三方向切片，获得样品的真实厚度的步骤之间，还包括：

根据第二电子能量损失谱的零损谱获得所述样品非目标层的相对厚度；

查表获取所述非目标层的平均自由程；

根据所述非目标层的相对厚度和平均自由程以及所述目标层的相对厚度获得所述目标层的相对平均自由程。

9.根据权利要求8所述的表征方法，其特征在于，根据所述非目标层的相对厚度和平均自由程以及所述目标层的相对厚度获得所述目标层的相对平均自由程为：