[发明专利]一种气体流场均匀性检测系统及方法在审
| 申请号： | 202210564195.7 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN115201057A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 张南;王鑫;吴彩庭;刘自然;毛朝斌;罗骞 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00;G01N9/36;G01N33/00 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 黄家豪 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及化学气相沉积技术领域，具体提供了一种气体流场均匀性检测系统及方法，其包括：驱动组件；检测盘，其包括承载台、气压传感器和至少一种气体浓度传感器，气压传感器和气体浓度传感器均设置在承载台上，气压传感器用于采集生成气压信息，气体浓度传感器用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；控制器，与气压传感器、气体浓度传感器和驱动组件电性连接，用于控制驱动组件间隙性地驱动承载台旋转预设的第一角度，还用于根据气压传感器在不同位置采集生成的气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据气体浓度传感器在不同位置采集生成的浓度信息检测对应的原料气体是否均匀；该系统能够有效地提高外延生长的膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 均匀 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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