[发明专利]一种气体流场均匀性检测系统及方法

说明书

本申请涉及化学气相沉积技术领域，具体提供了一种气体流场均匀性检测系统及方法，其包括：驱动组件；检测盘，其包括承载台、气压传感器和至少一种气体浓度传感器，气压传感器和气体浓度传感器均设置在承载台上，气压传感器用于采集生成气压信息，气体浓度传感器用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；控制器，与气压传感器、气体浓度传感器和驱动组件电性连接，用于控制驱动组件间隙性地驱动承载台旋转预设的第一角度，还用于根据气压传感器在不同位置采集生成的气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据气体浓度传感器在不同位置采集生成的浓度信息检测对应的原料气体是否均匀；该系统能够有效地提高外延生长的膜厚均匀性。

技术领域

本申请涉及化学气相沉积技术领域，具体而言，涉及一种气体流场均匀性检测系统及方法。

背景技术

在化学气相沉积法中，膜厚均匀性是检测外延产品质量的重要指标，由于气体流场均匀性是决定膜厚均匀性的重要因素，因此准确测量气体流场分布对控制膜厚均匀性具有重要意义。现有的气体流场均匀性检测装置仅能检测混合气体的浓度均匀性，由于其并不能检测各原料气体的浓度均匀性，因此可能出现不同空间点的混合气体的浓度相同，但各原料气体的浓度不同的情况，该情况下不同空间点的化学气相沉积速率不同，从而导致外延生长的膜厚不均匀。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种气体流场均匀性检测系统及方法，能够有效地提高外延生长的膜厚均匀性。

第一方面，本申请提供了一种气体流场均匀性检测系统，用于检测外延设备的气体流场的均匀性，其包括：

驱动组件；

检测盘，其包括承载台、气压传感器和至少一种气体浓度传感器，上述气压传感器和上述气体浓度传感器均设置在上述承载台上，上述气压传感器用于采集生成气压信息，上述气体浓度传感器用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；

控制器，与上述气压传感器、上述气体浓度传感器和上述驱动组件电性连接，用于控制上述驱动组件间隙性地驱动上述承载台旋转预设的第一角度，还用于根据上述气压传感器在不同位置采集生成的上述气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据上述气体浓度传感器在不同位置采集生成的上述浓度信息检测对应的上述原料气体是否均匀。

本申请提供的一种气体流场均匀性检测系统，能够根据气压信息检测混合气体是否均匀和根据浓度信息检测对应的原料气体是否均匀，以检测是否出现不同空间点的混合气体的浓度相同，但原料气体的浓度不同的情况，从而有效地提高外延生长的膜厚均匀性。

可选地，上述根据上述气压传感器在不同位置采集生成的上述气压信息检测混合气体是否均匀的过程包括：

根据预设的第一温度信息和上述气压传感器在不同位置采集生成的上述气压信息获取不同位置的第一分子数密度信息；

根据上述第一分子数密度信息检测混合气体是否均匀。

可选地，上述气体流场均匀性检测系统还包括温度传感器，上述温度传感器设置在上述承载台上，上述温度传感器用于采集生成第二温度信息，上述根据上述气压传感器在不同位置采集生成的上述气压信息检测混合气体是否均匀的过程包括：

根据上述气压传感器在不同位置采集生成的上述气压信息和上述温度传感器在不同位置采集生成的上述第二温度信息获取不同位置的第一分子数密度信息；

根据上述第一分子数密度信息检测混合气体是否均匀。

本申请提供的一种气体流场均匀性检测系统，先根据不同位置采集生成的气压信息和不同位置采集生成的第二温度信息获取不同位置的第一分子数密度信息，再根据第一分子数密度信息检测混合气体是否均匀，由于第二温度信息能够准确反映不同位置的温度，因此根据气压信息和第二温度信息获取的第一分子数密度信息更准确，从而有效地提高检测混合气体是否均匀的准确度。