[发明专利]一种气体流场均匀性检测系统及方法

权利要求书

1.一种气体流场均匀性检测系统，用于检测外延设备的气体流场的均匀性，包括驱动组件（1），其特征在于，所述气体流场均匀性检测系统还包括：

检测盘（2），其包括承载台（21）、气压传感器（22）和至少一种气体浓度传感器（23），所述气压传感器（22）和所述气体浓度传感器（23）均设置在所述承载台（21）上，所述气压传感器（22）用于采集生成气压信息，所述气体浓度传感器（23）用于采集生成对应的原料气体的浓度信息；

控制器（3），与所述气压传感器（22）、所述气体浓度传感器（23）和所述驱动组件（1）电性连接，用于控制所述驱动组件（1）间隙性地驱动所述承载台（21）旋转预设的第一角度，还用于根据所述气压传感器（22）在不同位置采集生成的所述气压信息检测混合气体是否均匀，还用于根据所述气体浓度传感器（23）在不同位置采集生成的所述浓度信息检测对应的所述原料气体是否均匀。

2.根据权利要求1所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，所述根据所述气压传感器（22）在不同位置采集生成的所述气压信息检测混合气体是否均匀的过程包括：

根据预设的第一温度信息和所述气压传感器（22）在不同位置采集生成的所述气压信息获取不同位置的第一分子数密度信息；

根据所述第一分子数密度信息检测所述混合气体是否均匀。

3.根据权利要求1所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，所述气体流场均匀性检测系统还包括温度传感器（24），所述温度传感器（24）设置在所述承载台（21）上，所述温度传感器（24）用于采集生成第二温度信息，所述根据所述气压传感器（22）在不同位置采集生成的所述气压信息检测混合气体是否均匀的过程包括：

根据所述气压传感器（22）在不同位置采集生成的所述气压信息和所述温度传感器（24）在不同位置采集生成的所述第二温度信息获取不同位置的第一分子数密度信息；

根据所述第一分子数密度信息检测混合气体是否均匀。

4.根据权利要求1所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，所述气体浓度传感器（23）的种类为多种，所述根据所述气体浓度传感器（23）在不同位置采集生成的所述浓度信息检测对应的所述原料气体是否均匀的过程包括：

根据多种所述气体浓度传感器（23）在不同位置采集生成的浓度信息获取多种所述原料气体的第一浓度比例信息；

根据所述第一浓度比例信息检测所述原料气体是否均匀。

5.根据权利要求4所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，所述外延设备包括多种原料气体提供组件（4），多种所述原料气体提供组件（4）分别用于提供对应的所述原料气体，所述控制器（3）还用于根据所述第一浓度比例信息、预设的第二浓度比例信息和预设的第一临界值调节所述原料气体提供组件（4）提供的所述原料气体的浓度，以使所述第一浓度比例信息与所述第二浓度比例信息的差值的绝对值小于等于所述第一临界值。

6.根据权利要求1所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，所述承载台（21）为圆盘状，所述气压传感器（22）和所述气体浓度传感器（23）设置在所述承载台（21）的顶部或底部。

7.根据权利要求6所述的气体流场均匀性检测系统，其特征在于，每种所述气体浓度传感器（23）的数量为2-6个，每种所述气体浓度传感器（23）径向等距设置在所述承载台（21）上。