[发明专利]一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法在审
| 申请号： | 202210556523.9 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN115182039A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 祖红亮;李熙规;张粉红;张科;陈琪 | 申请（专利权）人： | 化合积电（厦门）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/06 | 分类号： | C30B25/06;C30B25/18;C30B29/40;H01L33/00;H01L33/12 |
| 代理公司： | 北京精翰专利代理有限公司 11921 | 代理人： | 卓邦荣 |
| 地址： | 361023 福建省厦门市集*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于UVC LED的蓝宝石基氮化铝复合材料的制备方法，包括如下步骤：(1)衬底预处理；(2)靶材预处理；(3)在射频电源的作用下，设备腔体中的氩气和氮气发生辉光放电，形成等离子体，Ar+离子轰击铝靶材，溅射出铝原子，铝原子与等离子体中的氮原子发生反应，在衬底上形成AlN缓冲层；(4)N |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 uvc led 蓝宝石 氮化 复合材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
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