[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组合物、保护膜以及具有保护膜的元件在审
| 申请号： | 202210550802.4 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115437214A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 施俊安;刘骐铭 | 申请（专利权）人： | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 石明;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾台南*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组合物、保护膜以及具有保护膜的元件。所述化学增幅型正型感光性树脂组合物的感度及显影密着性良好。化学增幅型正型感光性树脂组合物包括含酸解离性基的树脂(A)、光酸产生剂(B)、溶剂(C)、硅烷化合物(D)以及封闭型异氰酸酯化合物(E)。硅烷化合物(D)具有如式(D‑1)所示的结构。(R |
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| 搜索关键词： | 化学 增幅 型正型 感光性 树脂 组合 保护膜 以及 具有 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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