[发明专利]薄膜沉积模拟方法、装置、电子设备及存储介质有效
| 申请号： | 202210548370.3 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN114662424B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 祝经明;徐平;胡琅;胡强;卫红;杨振怀;郭可升;侯少毅;毕诗博;沈若尧 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | G06F30/28 | 分类号： | G06F30/28;G06F111/10;G06F113/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 佛山市海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陈椅行 |
| 地址： | 528200 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及数据模拟分析技术领域，具体公开了一种薄膜沉积模拟方法、装置、电子设备及存储介质，其中，方法包括以下步骤：设定代表薄膜凝固情况的第一相场参量及代表输入蒸汽局部密度的第二相场参量；根据第一相场参量和第二相场参量建立用于模拟物理气相沉积的弹道沉积相场模型；根据第一相场参量耦合弹道沉积相场模型和固态薄膜的杨氏模量，以使弹道沉积相场模型与力学平衡方程耦合而建立薄膜沉积模型；根据薄膜沉积模型进行薄膜沉积模拟；该方法实现薄膜沉积过程的预测模拟，且能根据模拟结果反映薄膜沉积形态和应力分布特点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 模拟 方法 装置 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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