[发明专利]用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法在审
| 申请号： | 202210546999.4 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN114825032A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王硕 | 申请（专利权）人： | 苏州光筑激光设备有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01S5/06;H01S5/40;G03F7/20;G05D23/20 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及控制方法，MPU分别连接三个LD组驱动单元、与门二和与门三以及固态继电器；与门一的输出端连接与门二和与门三，与门二的输出端连接多路模拟开关，与门三的输出端连接多路模拟开关；模拟接口的输出控制端连接多路模拟开关；数模转换器的输出端口连接多路模拟开关；可调电阻的可调端连接多路模拟开关；多路模拟开关的输出端分别连接三个LD组驱动单元；防浪涌二极管的一端接地，另一端与驱动电源输出并联接固态继电器的输入端；固态继电器的输出端分别连接三个LD组驱动单元；三个LD组驱动单元的电流感应电压输出端分别连接模数转换器和加法放大器；有效避免电路受浪涌电压冲击。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 激光二极管 驱动 控制系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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