[发明专利]用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法

权利要求书

1.用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，其特征在于：通信接口(1)的通信端口连接MPU(2)的通信端口，MPU(2)的三个I/O引脚分别连接至LD组驱动单元一(10)、LD组驱动单元二(11)、LD组驱动单元三(12)的使能输入端；MPU(2)的两个I/O引脚分别连接至与门二(5)和与门三(6)的输入端；MPU(2)的一个I/O引脚连接至固态继电器(13)的控制引脚输入端；MPU(2)的I2C总线端口连接模数转换器(3)的I2C总线端口；MPU(2)的SPI总线端口连接数模转换器(7)的SPI总线端口；与门一(4)的输出端连接至与门二(5)和与门三(6)的输入端；与门二(5)的输出端连接多路模拟开关(8)的选择端口一，与门三(6)的输出端连接多路模拟开关(8)的选择端口二；模拟接口(17)的输出控制端连接至多路模拟开关(8)的模拟输入端口一；数模转换器(7)的输出端口连接至多路模拟开关(8)的模拟输入端口二；可调电阻(20)的可调端连接至多路模拟开关(8)的模拟输入端三；可调电阻(20)的一端连接地GND，另一端连接基准电压单元(9)的输出端；多路模拟开关(8)的输出端分别连接至LD组驱动单元一(10)、LD组驱动单元二(11)、LD组驱动单元三(12)的电流设定输入端；防浪涌二极管(21)的一端接地GNG，另一端与驱动电源(14)输出并联接至固态继电器(13)的输入端；固态继电器(13)的输出端分别连接至LD组驱动单元一(10)、LD组驱动单元二(11)、LD组驱动单元三(12)的电源输入端；LD组驱动单元一(10)的电流感应电压输出端连接至模数转换器(3)的模拟输入端口一以及加法放大器(15)的输入端口一；LD组驱动单元二(11)的电流感应电压输出端连接至模数转换器(3)的模拟输入端口二以及加法放大器(15)的输入端口二；LD组驱动单元三(12)的电流感应电压输出端连接至模数转换器(3)的模拟输入端口三以及加法放大器(15)的输入端口三；加法放大器(15)输出端连接至比较器一(16)的输入端；比较器一(16)的输出端连接至与门一(4)的输入端；温度传感器(18)的输出端连接至比较器二(19)的输入端、模拟接口(17)的输入端以及模数转换器(3)的模拟输入端口四；比较器二(19)的输出端连接至与门一(4)的输入端。

2.根据权利要求1所述的用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，其特征在于：所述LD组驱动单元一(10)、LD组驱动单元二(11)与LD组驱动单元三(12)的结构相同，包含运算放大器一(23)、三极管一(28)、运算放大器二(34)以及三极管二(39)，电容一(22)一端接地，另一端连接电流设定端，且连接至运算放大器一(23)的正输入端；运算放大器一(23)的负输入端与电容二(24)、电阻一(25)、电阻五(36)的一端以及运算放大器二(34)的输出端连接；运算放大器一(23)的输出端与电容二(24)的另一端、电阻二(27)以及电容三(26)的一端连接；电阻一(25)的另一端与电容三(26)的另一端连接；运算放大器二(34)的正输入端与电流传感器(33)的信号输出端连接同时连接至系统的电流电压输出端；运算放大器二(34)的负输入端与电阻五(36)的另一端以及电阻六(35)的一端连接；电阻六(35)的另一端与地连接；电阻二(27)的另一端与三极管一(28)的基极以及三极管二(39)的集电极连接；三极管一(28)集电极与电源输入端连接；三极管一的发射极端与LD一(29)正极相连接；LD一(29)的负极与LD二(30)的正极相连接；LD二(30)的负极与LD三(31)的正极连接；LD三(31)的负极与LD四(32)的正极连接；LD四(32)的负极与电流传感器(33)的输入端连接；电流传感器(33)的输出端接地；三极管二(39)的基极与电阻三(37)的一端以及电阻四(38)的一端连接；三极管二(39)的发射极接地；电阻三(37)的另一端接使能端；电阻四(38)的另一端接电源VCC。

3.根据权利要求2所述的用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，其特征在于：所述LD一(29)、LD二(30)、LD三(31)、LD四(32)为串联连接方式。

4.根据权利要求2所述的用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，其特征在于：所述电阻三(37)的电阻值为1k欧姆，电阻四(38)的电阻值为6.8k欧姆，电源VCC的电压为5V。