[发明专利]用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法

说明书

本发明涉及用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及控制方法，MPU分别连接三个LD组驱动单元、与门二和与门三以及固态继电器；与门一的输出端连接与门二和与门三，与门二的输出端连接多路模拟开关，与门三的输出端连接多路模拟开关；模拟接口的输出控制端连接多路模拟开关；数模转换器的输出端口连接多路模拟开关；可调电阻的可调端连接多路模拟开关；多路模拟开关的输出端分别连接三个LD组驱动单元；防浪涌二极管的一端接地，另一端与驱动电源输出并联接固态继电器的输入端；固态继电器的输出端分别连接三个LD组驱动单元；三个LD组驱动单元的电流感应电压输出端分别连接模数转换器和加法放大器；有效避免电路受浪涌电压冲击。

技术领域

本发明涉及一种用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其控制方法。

背景技术

目前，在半导体行业中，光刻机、曝光机以及PCB等加工中，都会涉及激光器的应用，由于受加工材料的限制，对激光波长、激光功率以及成本控制的考量，大多数激光器都会采用多个小功率激光二极管级联的方式来获得所需更高连续激光功率，并通过激光合束并整形得到行业内所需加工条件。但相应的激光驱动器经常出现上电烧毁激光二极管，无法检测各通道电流、特定电流下光源闪烁等问题。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统及其方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

用于光刻机的多路激光二极管驱动控制系统，特点是：通信接口的通信端口连接MPU的通信端口，MPU的三个I/O引脚分别连接至LD组驱动单元一、LD组驱动单元二、LD组驱动单元三的使能输入端；MPU的两个I/O引脚分别连接至与门二和与门三的输入端；MPU的一个I/O引脚连接至固态继电器的控制引脚输入端；MPU的I2C总线端口连接模数转换器的I2C总线端口；MPU的SPI总线端口连接数模转换器的SPI总线端口；与门一的输出端连接至与门二和与门三的输入端；与门二的输出端连接多路模拟开关的选择端口一，与门三的输出端连接多路模拟开关的选择端口二；模拟接口的输出控制端连接至多路模拟开关的模拟输入端口一；数模转换器的输出端口连接至多路模拟开关的模拟输入端口二；可调电阻的可调端连接至多路模拟开关的模拟输入端三；可调电阻的一端连接地GND，另一端连接基准电压单元的输出端；多路模拟开关的输出端分别连接至LD组驱动单元一、LD组驱动单元二、LD组驱动单元三的电流设定输入端；防浪涌二极管的一端接地GNG，另一端与驱动电源输出并联接至固态继电器的输入端；固态继电器的输出端分别连接至LD组驱动单元一、LD组驱动单元二、LD组驱动单元三的电源输入端；LD组驱动单元一的电流感应电压输出端连接至模数转换器的模拟输入端口一以及加法放大器的输入端口一；LD组驱动单元二的电流感应电压输出端连接至模数转换器的模拟输入端口二以及加法放大器的输入端口二；LD组驱动单元三的电流感应电压输出端连接至模数转换器的模拟输入端口三以及加法放大器的输入端口三；加法放大器输出端连接至比较器一的输入端；比较器一的输出端连接至与门一的输入端；温度传感器的输出端连接至比较器二的输入端、模拟接口的输入端以及模数转换器的模拟输入端口四；比较器二的输出端连接至与门一的输入端。