[发明专利]一种原位多功能电镀槽装置以及工作方法在审
| 申请号： | 202210546911.9 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114836813A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 于龙;雷力 | 申请（专利权）人： | 武汉光目科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/14 | 分类号： | C25D21/14;C25D21/12;C25D17/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 王世芳;梁鹏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖高新*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种原位多功能电镀槽装置以及工作方法，属于电镀槽设备领域，其包括电镀槽、同时设置在电镀槽上方的光源和液位计、与光源连接的光谱仪、输入端同时连接光源和光谱仪的光纤耦合器、连接光纤耦合器输出端连的光学探头和采集控制单元，采集控制单元同时连接液位计、光谱仪和光学探头。采用本发明装置进行工作时，液位计测量电镀槽盛装的电镀液的液位，光源发出的光依次进入光纤耦合器、光学探头后射入电镀液液面，发生透射和反射，透射部分的光进一步穿透电镀液后射入镀件表面，发生再次的反射，采用光谱仪采集不同时间段的多种反射光，获取电镀液浓度信息和镀层厚度信息。本发明装置和方法能实现原位监控镀件厚度，并且不损坏镀件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 多功能 电镀 装置 以及 工作 方法 | ||
【主权项】：
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