[发明专利]基于波前调制的大口径波前扫描测量装置与方法在审
| 申请号： | 202210546594.0 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114993618A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 朱健强;徐英明;陶华;刘诚;潘兴臣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于波前调制的大口径波前扫描测量装置及方法，装置包括：结构小孔，用于对大口径待测光束进行部分透光；编码板，设置于所述的结构小孔输出光束方向，用于对待测光束进行波前调制；光斑探测器，设置于所述的编码板输出光束方向，用于记录待测光束的衍射光斑；位移台，用于供所述的结构小孔、编码板和光斑探测器放置；控制及计算模块，分别与所述的光斑探测器和位移台相连，用于控制所述的位移台移动，以及获取光斑探测器记录的衍射光斑，并进行处理。本发明对于大口径器件的透过率复振幅测量具有重要的应用前景，具有精度高，速度快，装置简便，适用性广泛等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 调制 口径 扫描 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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