[发明专利]一种低应力的耐高温压力传感器芯片封装方法有效

专利信息
申请号: 202210542627.4 申请日: 2022-05-19
公开(公告)号: CN114655920B 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 肖瑞斌;罗进;李鹏 申请(专利权)人: 成都倍芯传感技术有限公司
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;G01L1/00
代理公司: 成都海成知识产权代理事务所(普通合伙) 51357 代理人: 庞启成
地址: 610000 四川省成都市武*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及封装技术领域,具体涉及一种低应力的耐高温压力传感器芯片封装方法,包括压力传感器芯片、基座层和信号传输线,所述信号传输线穿过所述基座层与所述传感器芯片的电极连接,所述信号传输线用于信号传输,所述压力传感器芯片与所述基座层烧结为一体。目前的封装方式为引线键合,这种封装方式高温下也会发生“金脆”现象导致金线断裂,耐振动性能很低,因此使用温度和环境受到限制,本发明就引线键合的封装方式改为烧结的封装方式,不使用引线进行键合,避免了高温振动下引线断裂的问题,可有效提高器件的可靠性。
搜索关键词: 一种 应力 耐高温 压力传感器 芯片 封装 方法
【主权项】:
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