[发明专利]一种芯片用高纯特种气体混配柜在审
| 申请号： | 202210524423.8 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114984842A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 钱轶;马东;王朋 | 申请（专利权）人： | 上海至纯系统集成有限公司 |
| 主分类号： | B01F35/71 | 分类号： | B01F35/71;B01F35/80;B01F35/83;B01F35/75;B01F35/22;B01F35/21;B01F23/10 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 杨敏 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片用高纯特种气体混配柜，包括原料进气管和混配管，原料进气管有两个或两个以上，每个原料进气管均与混配管连通，混配管连接有混配出气管，混配出气管连接有出气控制阀；每个原料进气管均连接有流量控制器，混配出气管通过检测管连接有第一浓度仪，流量控制器与第一浓度仪电连接，第一浓度仪连接有排气管。本发明提供的一种芯片用高纯特种气体混配柜中流量控制器对原料进气管中气体的流量进行调控，从而使得供给用气设备的混配气体保持在合理的浓度范围，同时当用气设备调整浓度要求后，通过改变第一浓度仪和流量控制器，从而适应用气设备调整后的浓度要求，同时省去了用气设备更换钢瓶的过程，提高了供气效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 高纯 特种 气体 混配柜 | ||
【主权项】：
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