[发明专利]一种芯片用高纯特种气体混配柜

权利要求书

1.一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：包括原料进气管(1)和混配管(2)，所述原料进气管(1)有两个以上，每个所述原料进气管(1)均与混配管(2)连通，所述混配管(2)连接有混配出气管(4)，所述混配出气管(4)连接有出气控制阀(5)；

每个所述原料进气管(1)均连接有流量控制器(6)，所述混配出气管(4)通过检测管(7)连接有第一浓度仪(8)，所述流量控制器(6)与第一浓度仪(8)电连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：每个所述原料进气管(1)均连接有减压阀(3)，每个所述原料进气管(1)均连接有开关阀(10)，所述开关阀(10)位于减压阀(3)与流量控制器(6)之间。

3.根据权利要求1所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：所述混配出气管(4)靠近混配管(2)的位置连接有第一控制阀(11)和缓冲进气管(12)，所述缓冲出气管(16)位于第一控制阀(11)和混配管(2)之间的位置，所述缓冲进气管(12)连接有第一缓冲罐(13)，所述第一缓冲罐(13)连接有第一中间管(14)，所述第一中间管(14)远离第一缓冲罐(13)的一端连接有第二缓冲罐(15)，所述第二缓冲罐(15)连接有缓冲出气管(16)，所述缓冲出气管(16)与混配出气管(4)连通。

4.根据权利要求3所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：所述缓冲进气管(12)连接有第二中间管(17)，所述第二中间管(17)远离缓冲进气管(12)的一端与缓冲出气管(16)连接，所述缓冲进气管(12)靠近第一缓冲罐(13)的位置设置有第二控制阀(18)，所述第二控制阀(18)位于缓冲进气管(12)与第一缓冲罐(13)之间的位置，所述缓冲出气管(16)靠近第二缓冲罐(15)的位置设置有第三控制阀(19)，所述第三控制阀(19)位于第二中间管(17)与第二缓冲罐(15)之间的位置。

5.根据权利要求3或4所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：所述混配出气管(4)通过检测管(7)连接有第二浓度仪(20)，与所述第二浓度仪(20)连接的检测管(7)位于缓冲出气管(16)与混配出气管(4)出气口之间的位置，与所述第二浓度仪(20)连接的检测管(7)检测管(7)第一控制阀(11)与混配管(2)之间的位置。

6.根据权利要求5所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：还包括标零管(21)和量程管(22)，所述标零管(21)分别与第一浓度仪(8)和第二浓度仪(20)连通，所述量程管(22)分别与第一浓度仪(8)和第二浓度仪(20)连通，标零管(21)、量程管(22)、排气管(9)和检测管(7)靠近第一浓度仪(8)器和第二浓度仪(20)的位置均设置有开关阀(10)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：所述标零管(21)连接有标零吹扫管(23)，所述标零吹扫管(23)通过管道分别与第一缓冲罐(13)和第二缓冲罐(15)连通，所述标零吹扫管(23)靠近第一缓冲罐(13)和第二缓冲罐(15)位置分别设置有第四控制阀(25)；

所述缓冲出气管(16)连接有排废管(24)，所述排废管(24)通过排废支管(26)分别与第一缓冲罐(13)和第二缓冲罐(15)连通，每个所述排废支管(26)均设置有第五控制阀(27)，所述缓冲出气管(16)连接有释放管(28)，所述释放管(28)位于缓冲出气管(16)靠近排废管(24)的位置。

8.根据权利要求7所述的一种芯片用高纯特种气体混配柜，其特征在于：所述混配管(2)通过第一连接管(29)分别与每个原料进气管(1)连通，所述第一连接管(29)设置有过滤芯(30)。