[发明专利]一种气体检测芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202210523050.2 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114778494A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 邓诗凯;涂敏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552;B82Y30/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 方秀琴 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及气体检测元件领域，本发明公开了一种气体检测芯片及其制备方法，该气体检测芯片，其包括基底层、阵列层和覆盖层；阵列层设置在基底层上，阵列层由多个金属纳米颗粒按预设排布规则排布构成；覆盖层设置在阵列层上，覆盖层用于吸附待检测气体。如此，得到的气体检测芯片具有选择性高、检测灵敏度高、体积小、易集成化的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 检测 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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