[发明专利]一种连续化镀膜制备系统及方法在审
| 申请号： | 202210522601.3 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114774866A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈剑宇;乔鑫;李偲嘉;韩旭然;陈子博;陈家禄;何倩;赵进;马延文 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 杜春秋 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种连续化镀膜制备系统，包括高能电子束轰击装置、超敏磁过滤装置和纳米层沉积装置，所述高能电子束轰击装置与超敏磁过滤装置相连通，所述超敏磁过滤装置与受电场控制的纳米层沉积装置相连通；所述纳米层沉积装置包括镀膜仓，所述镀膜仓内设置有用来缠绕沉积基底的多卷轴联动装置，所述镀膜仓设有磁过滤进口和气体源出口，所述磁过滤进口与超敏磁过滤装置的等离子体出口相连通。本发明提供的制备系统，采用等离子体活化技术、超敏磁过滤技术、纳米层沉积技术及多元一体化技术制备连续化镀膜制备系统，实现大面积、膜层厚度可调、膜层均匀及机械强度高的复合涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 镀膜 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
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