[发明专利]一种MPCVD金刚石生长设备的优化方法在审
| 申请号： | 202210519106.7 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN114974471A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 朱嘉琦;郝晓斌;代兵;李一村;刘雪冬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G16C60/00 | 分类号： | G16C60/00;C23C16/27;C23C16/50;C30B25/00;C30B29/04;G06F30/27;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 侯静 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种MPCVD金刚石生长设备的优化方法，本发明是为了解决现有MPCVD设备设计过程中，仅依靠有限元仿真难以实现设备高效设计的问题。优化方法：一、建立MPCVD设备仿真计算几何模型；二、利用多物理场仿真软件计算下腔体半径r1和上腔体高度h2与目标函数值M的相关性最大；三、建立前馈神经网络，以下腔体半径r1和上腔体高度h2作为输入数据，输出层为预测值M*进行训练；四、采用训练后的人工神经网络对目标函数进行预测，当预测值M*取最大值时，下腔体半径r1和上腔体高度h2的取值作为金刚石生长设备的优化尺寸。本发明基于人工神经网络优化MPCVD设备的尺寸，能够对不同几何参数下的微波谐振效果进行快速预测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 金刚石 生长 设备 优化 方法 | ||
【主权项】：
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