[发明专利]基于太阳能电池外延片的批量腐蚀装置及方法

摘要

本发明揭示了一种基于太阳能电池外延片的批量腐蚀装置及方法，所述批量腐蚀装置包括机械结构及冷却结构，所述机械结构包括支撑架、安装于支撑架上的连接杆、安装于连接杆下端的花篮、位于支撑架下方的腐蚀箱、用于驱动花篮升降的第一电机、用于驱动花篮在腐蚀箱内旋转的第二电机、及用于控制第一电机和第二电机的控制器，所述花篮内安装有多片太阳能电池外延片，所述腐蚀箱用于盛放腐蚀液，所述冷却结构用于控制太阳能电池外延片在腐蚀液中的腐蚀温度在预设温度范围内。本发明通过冷却结构能够控制多片腐蚀过程中的腐蚀温度，避免键合界面的破坏及电池外延片的损伤，提高了产品良率。