[发明专利]一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备

摘要

本发明涉及高温传感器热防护技术领域，更具体而言，涉及一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备。一种石墨烯传感器复合热防护结构，所述石墨烯复合传感器为层状结构，衬底层、石墨烯敏感层、氮化物隔离层、氧化铝保护层和高温陶瓷防护涂层；所述衬底层上设置石墨烯敏感层，所述石墨烯敏感层上设置氮化物隔离层，所述氮化物隔离层上设置氧化铝保护层，所述氧化铝保护层上设置高温陶瓷防护涂层。用单层石墨烯作为敏感层，衬底层对其提供支撑，利用氮化物作为隔离层主要作用为将石墨烯敏感层与氧化铝隔离开来，在开窗、键合处理后的薄膜上利用热喷涂技术制备一层高温陶瓷涂层，利用薄膜+厚膜工艺复合防护，提高石墨烯传感器在高温下的稳定性。