[发明专利]曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备有效
| 申请号： | 202210506837.8 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114608482B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 倪旭东;黄文勇;马铁中 | 申请（专利权）人： | 南昌昂坤半导体设备有限公司;昂坤视觉（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/255 | 分类号： | G01B11/255 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市南昌高新技术*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供一种曲率测量方法、系统、可读存储介质及计算机设备，方法包括：通过激光发射器沿预定方向照射于待测晶圆的预设照射位置，并控制待测晶圆进行自转，并获取到待测晶圆整圈的偏移量数据，根据偏移量数据计算出表面倾斜量；对两标准校准片分别按照上述步骤进行处理，以得到两标准校准片的偏移量数据，根据该偏移量数据计算出对应的基值及校准系数；根据基值、校准系数以及表面倾斜量计算得到待测晶圆的曲率值。本发明通过激光发射器照射在转动或自转状态下的待测晶圆，得到整圈的偏移量数据，计算出对应的表面倾斜量，利用两标准校准片来获得基值和标准系数，利用表面倾斜量、两基值和标准系数计算出待测晶圆的曲率值，节省计算成本。 | ||
| 搜索关键词： | 曲率 测量方法 系统 可读 存储 介质 计算机 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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