[发明专利]一种长度伸缩谐振型磁传感器有效
| 申请号： | 202210506574.0 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN114609554B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈聪;白利兵;张杰;周权;田露露;程玉华;黄伟 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02;G01R33/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邓黎 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种长度伸缩谐振型磁传感器，属于磁传感器技术领域，包括第一引出电极，第二引出电极，以及自下而上依次设置的基座、下磁敏薄膜、下电极层、压电薄膜层、上电极层和上磁敏薄膜；压电薄膜层包括中间镂空的绝缘结构，位于绝缘结构镂空区域的长度伸缩型压电薄膜结构，以及两个用于固定的支撑梁；基座上表面设有空腔，下磁敏薄膜和下电极层位于空腔内部对应压电薄膜结构位置；上电极层与第一引出电极相连，下电极层贯穿绝缘结构与第二引出电极相连。本发明中下磁敏薄膜和上磁敏薄膜均可与待测磁场充分接触，同时利用压电薄膜结构的长度伸缩特性，保证ΔE效应的充分转换，提高磁传感器的相对灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 长度 伸缩 谐振 传感器 | ||
【主权项】：
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