[发明专利]一种复合晶圆保护膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210492681.2 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114774020A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 李政;张强 | 申请（专利权）人： | 广东莱尔新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/29 | 分类号： | C09J7/29;C09J7/38 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 何慧敏;单蕴倩 |
| 地址： | 528000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合晶圆保护膜及其制备方法，复合晶圆保护膜包括由下至上依次层叠设置的离型层、聚氯乙烯层、热塑性聚氨酯弹性体层和压敏胶层；所述热塑性聚氨酯弹性体层的厚度为5～50μm。本技术方案提出的一种复合晶圆保护膜，其在聚氯乙烯层和压敏胶层中引入热塑性聚氨酯弹性体层，可作为阻隔层避免聚氯乙烯中的增塑剂迁移至压敏胶层，在保证晶圆保护膜的柔韧性和延展性的前提下，能有效提高压敏胶层对基层的附着力。进而提出的一种复合晶圆保护膜的制备方法，其工序依赖性低、灵活性强，有利于提高复合晶圆保护膜的生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 保护膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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