[发明专利]一种柔性传感器制备工艺

摘要

本发明公开了一种柔性传感器制备工艺，包括以下步骤：在上下柔性基底材料的表面印刷导线层和有机半导体膜层，并组成网格状测量回路；在两层网格交点位置分别印刷与其导线方向垂直的绝缘层，并在绝缘层外侧覆盖硅胶层；在绝缘层基础上，印刷与绝缘层线条方向垂直的应变温敏电阻材料层，以及导电体与有机半导体膜层连接；下层电路印刷丝印胶层，丝印胶层成条状，与导线层导线相互平行；通过丝印胶层将上下电路粘接，在上下层电路交叉点位置构成柔性阵列传感器敏感单元，提供一氧化石墨烯薄膜，本发明所用柔性传感器单元采用纳米印制的方法来实现，其图形结构精确，整体性强，从而使其工作稳定，使用方便，适应性好。