[发明专利]一种柔性传感器制备工艺

权利要求书

1.一种柔性传感器制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1:在上下柔性基底材料的表面印刷导线层和有机半导体膜层，并组成网格状测量回路；

S2:在两层网格交点位置分别印刷与其导线方向垂直的绝缘层，并在绝缘层外侧覆盖硅胶层；

S3:在绝缘层基础上，印刷与绝缘层线条方向垂直的应变温敏电阻材料层，以及导电体与有机半导体膜层连接；

S4:下层电路印刷丝印胶层，丝印胶层成条状，与导线层导线相互平行；

S5:通过丝印胶层将上下电路粘接，在上下层电路交叉点位置构成柔性阵列传感器敏感单元。

2.根据权利要求1所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：提供一氧化石墨烯薄膜，对氧化石墨烯薄膜进行硅烷改性，得到改性还原氧化石墨烯薄膜，在所述改性还原氧化石墨烯薄膜一面上涂上媒介材料，使所述媒介材料吸附于所述改性还原氧化石墨烯薄膜上。

3.根据权利要求2所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：所述氧化石墨烯薄膜的厚度为30-80μm。

4.根据权利要求1所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：所述导线层为金、银、铜、铁或其合金。

5.根据权利要求2所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：所述生物酶为葡萄糖氧化酶、乳酸氧化酶或乙醇氧化酶。

6.根据权利要求1所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：通过喷墨打印法制备有机半导体膜层。

7.根据权利要求2所述的一种柔性传感器制备工艺，其特征在于：将含有所述媒介材料的溶液滴涂至所述改性还原氧化石墨烯薄膜一侧的表面上，并进行干燥。