[发明专利]一种高灵敏度低非线性压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202210488986.6 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114705332A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 冯亚斌;申建武;赵虎;王淞立 | 申请（专利权）人： | 西安思微传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 马苗苗 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS传感器技术领域，且公开了一种高灵敏度低非线性压力传感器及制备方法，包括由下至上依次排列的衬底硅层、二氧化硅绝缘层、器件层和氮化硅钝化层，所述器件层上设有四组压敏电阻，并分别设置在应力杯四边的中点正上方位置，所述器件层上设有导带，四组所述压敏电阻通过所述导带与电极连接形成惠斯通电桥；在敏感膜中心由若干个凸台组成的一个倒金字塔结构的台体，此种压力传感器结构解决了提高灵敏度和降低非线性这一对矛盾，且此种结构相对E型杯结构，降低了应力集中现象。使用新结构后的压力传感器与传统结构压力传感器相比，同样灵敏度情况下，最大变形减少20％‑30％，可显著降低传感器的非线性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 非线性 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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